Exosens dévoile une méthode laser pour graver des nanostructures à 300 nm

Une étude sur la gravure laser parallèle en milieu transparent

Exosens a publié le 7 juillet 2026 une étude réalisée en partenariat scientifique portant sur la fabrication directe de nanostructures optiques dans des matériaux transparents par laser femtoseconde. L'étude, intitulée « De-coherent Parallel Laser Processing of Ultradense Nanopores for High-Density, Large-Area 3D Optical Phase Encoding », a été publiée dans Nature Communications en 2026. Cette recherche traite des défis techniques liés à la gravure parallèle multifoyer : lorsque plusieurs faisceaux lasers travaillent simultanément, les interférences entre les foyers adjacents dégradent la qualité et la précision des structures fabriquées.

Une stratégie d'ingénierie pour réduire les interférences optiques

L'étude présente une approche appelée De-coherent Parallel Direct Laser Writing (Dc-PDLW) visant à atténuer les effets d'interférence. Cette méthode utilise un hologramme de segmentation de bande (SSP) pour générer un champ lumineux multifoyer contrôlé, combiné à un masque binaire qui attribue des états de polarisation orthogonaux à différents foyers afin de supprimer les interférences entre foyers adjacents. Dans des cristaux de saphir, cette approche a permis d'obtenir un espacement entre pores d'environ 300 nanomètres (λ/4), contre environ 545 nanomètres avec un algorithme itératif et 601 nanomètres en gravure point par point conventionnelle.

Validation optique des structures fabriquées

L'étude a utilisé un capteur de front d'onde Phasics SID4 pour mesurer les modifications de phase optique induites par les nanostructures après leur fabrication. Ces mesures ont démontré que l'espacement réduit entre les pores engendre une augmentation progressive de la modulation d'indice de réfraction et de la biréfringence, validant le lien entre conception géométrique et comportement optique réel des structures.